半導體製程真空環境：編碼器的選擇與應用

Netzer Precision 打造的 VLS 系列（Space-Grade），本是為了衛星與太空望遠鏡設計，如今也成為半導體超高真空設備的理想方案。本文將探討 VLS 如何成為半導體真空應用編碼器的最佳解決方案。